rymario 2 Опубликовано 26 Сентября Жалоба Поделиться Опубликовано 26 Сентября Здравствуйте, форумчане! Для калибровки измерительной системы FRT MicroProf 200 (бесконтактное измерение геометрических параметров топографии кристаллов, толщины плёнок/слоёв, шероховатости, высоты ступеньки...) по толщине монослоя необходимы контрольные образцы толщины плёнки на пластинах кремния в диапазоне 1-200 мкм с допуском от 0,1 до 0,3 мкм (калибровка оптического датчика IRT80) и 20 -900 мкм с допуском от 1,01 до 1,89 мкм (IRT800). Обратились во ВНИИМС. По остальным параметрам они готовы провести калибровку, кроме толщины монослоя - нет образцов. Подскажите вариант аренды образцов или организацию, способную провести калибровку по этому параметру. Заранее благодарен. Цитата Ссылка на комментарий Поделиться на других сайтах Прочее
1 сообщение в этой теме
Рекомендуемые сообщения
Присоединиться к обсуждению
Вы можете ответить сейчас, а зарегистрироваться позже. Если у вас уже есть аккаунт, войдите, чтобы ответить от своего имени.