Добрый день!
Помогите, пожалуйста, в поиске статьи в журнале "Измерительная техника" №9 за 2009 год - Соколов Л.В. Высокостабильные высокотемпературные микроэлектромеханические преобразователи нового поколения на основе гетероструктуры кремний-на-изоляторе,с. 18-20.