Нужны сведения по поверке приборов:
- сканирующий Оже-электронный спектроскоп Physical Electronics, PHI-4300;
- Микроскоп Olympus BX51;
- Прибор измерения толщины покрытия Calotest;
- Электронный микроскоп Tescan, Mira II LMU;
- Профилометр (CHR 150 Micro Photonics Inc.,США,2011).