Зависит от того в какой сфере применяется данное ИО. При составлении программы и методики аттестации нужно опираться в первую очередь на то, как Вы планируете применять ИО при испытаниях. ИО должно быть способно воспроизвести условия испытаний, оно для этого предназначено. Условия испытаний описаны в методах испытаний.
Методы испытаний на воздействие соляного тумана представленные в ГОСТы РВ 0020-57.416 и ГОСТ РВ 0020-57.306 подразумевают что водность тумана в камере и его дисперсность известны. Значит, если испытания по этим ГОСТам, Вам нужно эти параметры контролировать при проведении аттестации камеры.
Метод определения дисперсности достаточно описан в ГОСТ 9.308-85, Приложение 1.
В качестве предметного стекла можно использовать объект-микрометр типа ОМ, им сразу можно и размер капель измерить.
А вот с определением водности несколько сложнее. Есть различные методы, но классическим является тот где применяется прибор Зайцева. При измерении водности прибором Зайцева, мы получаем водность сразу нужной размерности, г/м^3. Есть так же метод определения водности путем сбора осажденного тумана в мерную емкость через стеклянную воронку диаметром 10 см., однако в этом случае размерность измерений - мл/ч. Часто слышу что это рабочий метод, и водность измеренная таким образом соответствует водности измеренной прибором Зайцева, однако мне не попадалось этому подтверждения в виде метода перерасчёта или таблиц соответствия. Поэтому использую прибор Зайцева, несмотря на все его недостатки.
Требуемые для испытаний параметры водности указаны, например, в ГОСТ РВ 0020-57.306 п 5.12.4. Достаточно подробно методы измерения дисперсности и влажности описаны в ОСТ 4Г 0.094.210-85 - рекомендую разрабатывать программ иметодику аттестации камеры на его основе.
Методы достаточно емкие, что бы выкладывать их здесь. Ознакомьтесь с упомянутыми документами, это поможет разобраться в вопросе.