Манометры дифференциального давления для чистых помещений

[Никита1 0]

Коллеги, добрый день! Какой документ регламентирует требования к СИ, эксплуатируемых для измерения перепада давления между чистыми помещениями? 

[toma300364 12]

Поищите, уже где-то обсуждали данную тему 

Вот здесь спросите

https://www.testo.ru/ru-RU/sfery-primeneniya/izmerenie-differencialnogo-davleniya-v-chistyh-pomeshcheniyah-i-na-filtrah

[владимир 332 1335]

7 часов назад, Никита1 сказал:

Какой документ регламентирует требования к СИ, эксплуатируемых для измерения перепада давления между чистыми помещениями? 

ИМХО Посмотрите ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020 https://gostassistent.ru/doc/b6479584-55fc-4ae5-a446-2f8869c79360

Цитата

4.2 Основные принципы

4.2.1 Контроль перепада давления воздуха

Целью контроля перепада давления воздуха является проверка способности чистого помещения поддерживать заданный перепад давления между чистым помещением и окружающей средой. Контроль перепада давления воздуха следует выполнять после того, как подтверждены критерии приемлемости для скорости потока воздуха или расхода воздуха, однородности скорости и другие параметры. Подробное описание метода контроля перепада давления воздуха дано в В.1.

....

Таблица А.1 - Контрольный лист дополнительных испытаний

Отметка о выборе контроли- руемых параметров испытаний и их очередности	Контролируемый параметр	Пункт прило- жения B с описа- нием мето- дики	Отметка о выборе оборудо- вания	Тип оборудования	Пункт приложения C с описанием оборудо- вания	Приме- чание
	Перепад давления	В.1		Электронный микроманометр	С.2.2
				Наклонный манометр	С.2.3
				Механический датчик перепада давления	С.2.4

...

Приложение В

 В.1 Измерение перепада давления

В.1.1 Общие положения

Цель данного испытания - убедиться в способности системы чистых помещений поддерживать требуемый перепад давления между чистым помещением и окружающей средой, а также между отдельными чистыми помещениями и чистыми зонами внутри системы чистых помещений [18]. Измерение перепада давления может проводиться для каждого из состояний чистого помещения и также может выполняться на регулярной основе, как часть программы текущего контроля оборудования по ИСО 14644-2 [2].

....

С.2 Контроль перепада давления воздуха

С.2.1 Общие положения Минимальные требования к оборудованию для контроля перепада давления даны в таблице С.1.

Таблица С.1 - Оборудование для контроля перепада давления Параметр Минимальные требования Пределы измерений

...

Не установлено

Разрешающая способность 0,5 Па (0-49,9 Па) 1,0 Ра ( 50 Па)

Максимально допустимая ошибка 2 Па или 5% показаний, выбирается большее значение (Механические датчики могут использоваться для непрерывного контроля, но не для испытаний ввиду их потенциальных ошибок) ГОСТРИСО14644-3-2020   

С.2.2 Электронный манометр - используется для определения разности давлений между чистым помещением или чистой зоной и их окружениями путем измерения изменения электростатической емкости или электронного сопротивления, отражающих перемещение диафрагмы.

С.2.3 Наклонный манометр - используется для определения разности давлений между двумя точками путем визуального считывания показаний наклонной шкалы, отражающей небольшой перепад давления (высота) в трубке манометра, заполненной такими жидкостями, как вода или спирт. Работа с данным средством измерения требует внимания. Он должен быть установлен по уровню и использоваться в фиксированном положении.

С.2.4 Механический датчик перепада давления - используется для определения разности давлений в двух точках путем измерения величины передвижения иглы, соединенной механическим или магнитным приводом с диафрагмой и отражающей ее перемещение. Работа с данным средством измерения требует внимания. Он должен быть установлен по уровню и использоваться в фиксированном положении. Следует обратить внимание на пределы измерения при работе с данными приборами.

 

 

+ https://sivers.ru/tpost/868fsop9vf-kontrol-perepada-davleniya-v-chistih-pom

Впрочем далеко не копенгаген в этом вопросе 

Изменено 10 Января 2025 пользователем владимир 332

[Alexs_L 100]

Нужно смотреть документы той отрасли, в которой будут использоваться данный чистые помещения. В операционных одни требования, а в цехах сборки чипов - другие.